突破國外技術(shù)壟斷！我國MEMS射頻參數(shù)計(jì)量技術(shù)達(dá)國際先進(jìn)水平
2026年5月18日，從市場監(jiān)管總局傳來重磅消息：我國在微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）關(guān)鍵射頻參數(shù)計(jì)量技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破，成功攻克長期制約國內(nèi)產(chǎn)業(yè)的計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)缺失、測試能力不足等難題，部分核心指標(biāo)躋身國際先進(jìn)行列，為5G通信、航空航天等戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)筑牢“測量基石”。
攻堅(jiān)痛點(diǎn)：打破高端計(jì)量“卡脖子”困境
MEMS射頻器件是5G基站、智能手機(jī)、航空航天設(shè)備的核心微型組件，其性能直接決定信號傳輸?shù)姆€(wěn)定性與效率。此前，我國因缺乏自主可控的射頻參數(shù)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)，在介電常數(shù)、脈沖波形、電磁輻射等關(guān)鍵參數(shù)測試上長期依賴國外技術(shù)與設(shè)備，導(dǎo)致高端器件研發(fā)、生產(chǎn)及質(zhì)量驗(yàn)證受限，成為產(chǎn)業(yè)升級的“攔路虎”。
為破解這一困局，市場監(jiān)管總局牽頭組織國內(nèi)頂尖科研機(jī)構(gòu)聯(lián)合攻關(guān)，聚焦MEMS射頻參數(shù)計(jì)量測試核心技術(shù)，歷經(jīng)多年研發(fā)，系統(tǒng)性解決了信號完整性測試、可靠性評估等關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，全面提升我國MEMS器件射頻參數(shù)的計(jì)量測試能力。
硬核成果：五大裝置+三項(xiàng)規(guī)范，構(gòu)建自主計(jì)量體系
本次技術(shù)攻關(guān)取得兩大核心成果，構(gòu)建起覆蓋全面、精準(zhǔn)可靠的自主計(jì)量體系：
1. 五大核心計(jì)量裝置研制成功
- 基材介電常數(shù)計(jì)量裝置：精準(zhǔn)檢測器件基底材料電學(xué)特性，為高性能濾波器設(shè)計(jì)提供關(guān)鍵依據(jù)。
- 太赫茲波形計(jì)量裝置：捕捉解析高頻太赫茲波段信號，支撐6G前沿技術(shù)研發(fā)。
- 光子鏈路定位參數(shù)計(jì)量裝置：精確定位光互連系統(tǒng)故障點(diǎn)位，保障機(jī)載光網(wǎng)絡(luò)可靠運(yùn)行。
- 微互連電磁泄漏總輻射功率測試裝置：檢測微型連接處電磁泄漏，防范信號干擾風(fēng)險。
- 微機(jī)電系統(tǒng)電接觸和互連電參數(shù)測試裝置：評估微型觸點(diǎn)長期使用穩(wěn)定性，提升器件可靠性。
2. 三項(xiàng)國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范發(fā)布
研究團(tuán)隊(duì)牽頭起草《皮秒級快沿/脈沖發(fā)生器校準(zhǔn)規(guī)范》等3項(xiàng)國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范，填補(bǔ)國內(nèi)MEMS測量領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)空白，健全儀器儀表質(zhì)量保證體系，實(shí)現(xiàn)“設(shè)備+標(biāo)準(zhǔn)”雙自主可控。
產(chǎn)業(yè)賦能：多領(lǐng)域示范應(yīng)用，支撐戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)發(fā)展
目前，該項(xiàng)技術(shù)成果已在5G高頻器件、光電集成器件、機(jī)載光網(wǎng)絡(luò)三大領(lǐng)域開展示范應(yīng)用，成效顯著：助力國產(chǎn)濾波器等5G核心器件創(chuàng)新研發(fā)，提升產(chǎn)品性能與市場競爭力；保障光電集成器件故障診斷定位精準(zhǔn)可靠，降低運(yùn)維成本；支撐航空航天機(jī)載光網(wǎng)絡(luò)穩(wěn)定運(yùn)行，強(qiáng)化高端裝備自主可控能力。
業(yè)內(nèi)專家表示，此次MEMS射頻參數(shù)計(jì)量技術(shù)突破，不僅標(biāo)志著我國在高端計(jì)量測試領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)從“跟跑”到“并跑”的跨越，更將為新一代信息技術(shù)、航空航天、國防軍工等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐，推動我國高端制造業(yè)向產(chǎn)業(yè)鏈上游攀升，為經(jīng)濟(jì)社會高質(zhì)量發(fā)展注入強(qiáng)勁動力。